[发明专利]一种低温物性测试系统及装置有效
| 申请号： | 201910917353.0 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110632423B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 伍文涛;高波;王镇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R1/30;G01R1/04 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 宋缨 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种低温物性测试系统及装置，所述系统包括：多通道直流测试电路，用于根据第一待测样品的电压和电流对其进行直流电学参数表征；SQUID读出电路，用于读取第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号，以对所述第二待测样品进行器件性能表征；其中，在对所述第一待测样品进行直流信号放大测试时，所述低温物性测试系统还包括：标准SQUID，设于所述样品安装区；此时所述标准SQUID的输入端电连接于所述多通道直流测试电路的输出端以作为所述多通道直流测试电路的次级放大电路，用于对所述多通道直流测试电路的输出信号进行放大。通过本发明解决了现有技术中没有高效低温物性测试系统的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 物性 测试 系统 装置 | ||
【主权项】：
1.一种低温物性测试系统，其特征在于，所述低温物性测试系统包括：/n多通道直流测试电路，用于根据第一待测样品的电压和电流对其进行直流电学参数表征；其中所述多通道直流测试电路包括：/n样品绑定区，设于低温环境下，用于放置第一待测样品，同时引出电压引出端和电流引出端；/n电压源，设于常温环境下且电连接于所述电压引出端，用于为所述第一待测样品提供电压或测量所述第一待测样品的输出电压；/n电流源，设于常温环境下且电连接于所述电流引出端，用于为所述第一待测样品提供电流或测量所述第一待测样品的输出电流；/nSQUID读出电路，用于读取第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号，以对所述第二待测样品进行器件性能表征；其中所述SQUID读出电路包括：/n样品安装区，设于低温环境下，用于放置第二待测样品，同时引出读出引线端；/nSQUID控制器，设于常温环境下且电连接于所述读出引线端，用于读取所述第二待测样品的磁通或待转换为磁通的电信号；/n其中，在对所述第一待测样品进行直流信号放大测试时，所述低温物性测试系统还包括：标准SQUID，设于所述样品安装区；此时所述标准SQUID的输入端电连接于所述多通道直流测试电路的输出端，所述标准SQUID的输出端电连接于所述SQUID控制器，以通过所述SQUID控制器控制所述标准SQUID的工作状态，使所述标准SQUID作为所述多通道直流测试电路的次级放大电路，对所述多通道直流测试电路的输出信号进行放大。/n
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