[发明专利]一种化学镀铜液及其制备方法在审
申请号: | 201910917557.4 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN110512199A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
发明(设计)人: | 邵永存 | 申请(专利权)人: | 苏州天承化工有限公司 |
主分类号: | C23C18/40 | 分类号: | C23C18/40 |
代理公司: | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人: | 巩克栋<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 215124 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种化学镀铜液及其制备方法,所述化学镀铜液按质量浓度计,包括水溶性二价铜盐1‑10g/L、第一络合剂10‑100g/L、第二络合剂3‑20g/L、还原剂2‑50g/L和稳定剂0.001‑100mg/L。本发明所述化学镀铜液选用了特定的第二络合剂,并且通过两种络合剂之间的相互配合,协同增效,使得到的化学镀铜液不仅在施镀过程中稳定无分解,而且其镀速也得到了大幅提升。另外,本发明所述化学镀铜液施镀后得到的镀铜膜平整均匀,能够满足功能性化学镀铜的要求。 | ||
搜索关键词: | 化学镀铜液 络合剂 施镀 水溶性二价铜盐 化学镀铜 协同增效 镀铜膜 还原剂 浓度计 稳定剂 制备 平整 分解 配合 | ||
【主权项】:
1.一种化学镀铜液,其特征在于,所述化学镀铜液按质量浓度计,包括如下组分:/n /n所述第一络合剂选自酒石酸、酒石酸盐、柠檬酸、柠檬酸盐、N-羟乙基乙二胺三乙酸、N-羟乙基乙二胺三乙酸盐、三乙醇胺、氨三乙酸或氨三乙酸盐中的任意一种或至少两种的组合;/n所述第二络合剂选自乙二胺四乙酸四钠、丁二酸、丁二酸钠或乙二胺中的任意一种或至少两种的组合。/n
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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