[发明专利]一种晶圆自动贴合固定装置

摘要

本发明公开了一种晶圆自动贴合固定装置，包括绷膜贴片组件、滚压组件、水平转移组件、第一机械手臂、第一工作台、第二机械手臂、料盒、料盒架、卡塞上下料组件；其中：水平转移组件由第二电机、载台构成，第二电机的转轴与载台连接，载台上连接有4个第一工作台。本发明的优点在于：利用机械手臂取、放料，OCR镜头检测片源刻号和相对位置，利用机械手臂调整位置放置在贴片载台上，从而使片源能够准确的完成贴片工序，再利用机械手臂取料放回卡塞中，从而完成贴片工序的自动化，提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

1.一种晶圆自动贴合固定装置，包括绷膜贴片组件（1）、滚压组件（2）、水平转移组件（3）、第一机械手臂（4）、第一工作台（5）、第二机械手臂（6）、料盒（7）、料盒架（8）、卡塞上下料组件（9）；其特征在于：水平转移组件（3）由第二电机（17）、载台（18）构成，第二电机（17）的转轴与载台（18）连接，载台（18）上连接有4个第一工作台（5），可控制工作台（5）水平方向旋转，绷膜贴片组件（1）与机台外壳（28）固定，且位于第一工作台（5）的上方，卡塞上下料组件（9）与机台外壳（28）底板相连接，第二机械手臂（6）与机台外壳（28）连接，可抓取料盒架（8）内的料盒（7），OCR镜头（25）固定于机台外壳（28）上，位于第一工作台（5）上方，第一电机（10）与第二机械手臂（6）相连，固定于机台外壳（28）底板上，机台外壳（28）上安装有滚压组件（2），滚压组件（2）由滚膜轴（19）、第一支架（29）构成，滚膜轴（19）与第一支架（29）活动连接，并固定于第一支架（29）上，第一支架（29）固定于机台外壳（28）上。/n