[发明专利]真空吸附装置在审
| 申请号： | 201910923939.8 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110666680A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 王建新 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B41/06;B01D45/02 |
| 代理公司： | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空吸附装置，包括：真空吸附盘，真空吸附盘的中心设置有第一吸气口；气液分离结构，包括具有容纳腔体的本体，本体的上半部分的侧壁上设有与容纳腔体连通的入口和出口，入口通过第一管道与第一吸气口连通；真空产生结构，通过第二管道与出口连通；真空吸附装置还包括：液位监测结构，用于实时监测容纳腔体内的液位，并在容纳腔体内的液位超过预设值时发出信号；排液结构，包括储液箱、排液管道以及第一压缩空气提供部，储液箱通过排液管道与本体的底部的排液口连通，第一压缩空气提供部通过第三管道与排液管道连通；控制结构，用于根据液位监测结构发出的信号、控制第一压缩空气提供部提供压缩空气以快速排空排液管道内的液体。 | ||
| 搜索关键词： | 连通 排液管道 压缩空气 真空吸附装置 真空吸附盘 容纳腔体 液位监测 储液箱 容纳腔 吸气口 液位 体内 气液分离结构 第二管道 第一管道 控制结构 快速排空 排液结构 实时监测 真空产生 中心设置 排液口 侧壁 预设 出口 | ||
【主权项】：
1.一种真空吸附装置，其特征在于，包括：/n真空吸附盘，所述真空吸附盘的中心设置有第一吸气口；/n气液分离结构，包括具有容纳腔体的本体，所述本体的上半部分的侧壁上设有与所述容纳腔体连通的入口和出口，所述入口通过第一管道与所述第一吸气口连通；/n真空产生结构，通过第二管道与所述出口连通；/n所述真空吸附装置还包括：/n液位监测结构，用于实时监测所述容纳腔体内的液位，并在所述容纳腔体内的液位超过预设值时发出信号；/n排液结构，包括储液箱、排液管道以及第一压缩空气提供部，所述储液箱通过所述排液管道与所述本体的底部的排液口连通，所述第一压缩空气提供部通过第三管道与所述排液管道连通；/n控制结构，用于根据所述液位监测结构发出的信号、控制所述第一压缩空气提供部提供压缩空气以快速排空所述排液管道内的液体。/n
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