[发明专利]一种拉晶炉有效
| 申请号： | 201910933783.1 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110552054B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 全弘湧 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种拉晶炉，包括：炉体，炉体内限定有腔室，炉体上设有与腔室连通的拉晶口；坩埚，坩埚设在腔室中以盛放硅材料；隔热件，隔热件沿炉体内壁设置；闸阀，闸阀设在炉体上以打开或封闭拉晶口；保温结构，保温结构设在闸阀上以阻挡热量从拉晶口散失。根据本发明实施例的拉晶炉，在多晶硅熔融过程中，通过闸阀封闭拉晶炉的拉晶口，防止多晶硅中的挥发性组分挥发，闸阀上的保温结构能够减少热量从拉晶口散失，使熔融时间减少，加快熔融速度，同时，减少对石英坩埚造成损伤，避免影响锭的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉晶炉 | ||
【主权项】：
1.一种拉晶炉，其特征在于，包括：/n炉体，所述炉体内限定有腔室，所述炉体上设有与所述腔室连通的拉晶口；/n坩埚，所述坩埚设在所述腔室中以盛放硅材料；/n隔热件，所述隔热件沿所述炉体内壁设置；/n闸阀，所述闸阀设在所述炉体上以打开或封闭所述拉晶口；/n保温结构，所述保温结构设在所述闸阀上以阻挡热量从所述拉晶口散失。/n
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