[发明专利]一种直拉硅单晶炉平底导流筒在审
申请号: | 201910941999.2 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN110484967A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 武志军;高润飞;张文霞;郭谦;霍志强;韩凯;王胜利;张石晶;郭志荣;钟旭 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 12213 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 栾志超<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙;15 |
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摘要: | 本发明提供一种直拉硅单晶炉平底导流筒,包括导流筒侧壁部、导流筒过渡部和导流筒平底部,导流筒侧壁部、导流筒过渡部与导流筒平底部依次连接,其中,导流筒侧壁部、导流筒过渡部与导流筒平底部均为环状结构,导流筒平底部的直径小于导流筒侧壁部的直径,且导流筒平底部与导流筒侧壁部同轴线设置,以便减小硅溶液液面与导流筒之间的间隙。本发明的有益效果是具有导流筒平底部,导流筒与液面缝隙降少,气体流速加快,可快速带走挥发出的氧,可有效降低大尺寸单晶氧含量,提升大尺寸单晶品质。 | ||
搜索关键词: | 导流筒 侧壁部 过渡部 大尺寸单晶 液面 直拉硅单晶炉 同轴线设置 环状结构 气体流速 依次连接 硅溶液 减小 | ||
【主权项】:
1.一种直拉硅单晶炉平底导流筒,其特征在于:包括导流筒侧壁部、导流筒过渡部和导流筒平底部,所述导流筒侧壁部、所述导流筒过渡部与所述导流筒平底部依次连接,其中,/n所述导流筒侧壁部、所述导流筒过渡部与所述导流筒平底部均为环状结构,所述导流筒平底部的直径小于所述导流筒侧壁部的直径,且所述导流筒平底部与所述导流筒侧壁部同轴线设置,以便减小硅溶液液面与导流筒之间的间隙。/n
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