[发明专利]清洁装置及清洁方法在审
| 申请号： | 201910951287.9 | 申请日： | 2019-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN112620243A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李凌宇 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及清洁领域，公开了一种清洁装置及清洁方法。其中，清洁装置包括：具有收容空间的壳体；收容于所述收容空间的气体收容部件，所述气体收容部件包括用于放气的出气口；设置在所述壳体外侧的吹扫部件，所述出气口与所述吹扫部件连通，所述吹扫部件处设置有控制所述吹扫部件开合的阀门。本发明实施方式所提供的清洁装置具有清洁成本较低、清洁操作较为简单且安全的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
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