[发明专利]异物检测装置、曝光装置以及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种异物检测装置、曝光装置以及物品的制造方法。该异物检测装置检测透明部件上的异物，该异物检测装置的特征在于，具有：照射部，对透明部件斜着照射光；受光部，检测来自被照射部照射了光的透明部件上的异物的散射光；以及处理部，进行检测异物的处理，该处理包含：第一模式，将照射部与受光部的相对位置设为照射部与受光部之间的距离为第一距离的第一状态，基于在第一状态下由受光部检测的散射光的分布来检测异物；以及第二模式，将照射部与受光部的相对位置设为照射部与受光部之间的距离为比第一距离长的第二距离的第二状态，基于在第二状态下由受光部检测的散射光的分布来检测异物。