[发明专利]掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机有效
| 申请号： | 201910967774.4 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112648920B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 肖蓉;邓帅飞;李运锋;周许超 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G03F1/44;H01L21/033;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩模开口尺寸测量方法、掩模版拉伸装置以及张网机。该掩模开口尺寸测量方法包括：对当前进行拉伸的掩模版进行图像采集，形成当前图像采集结果，所述掩模版包括掩模开口；基于所述当前图像采集结果，确定所述掩模版上当前所述掩模开口的几何中心；基于当前所述掩模开口的几何中心，计算当前所述掩模开口的尺寸，以有效判断当前掩模版上的掩模开口的尺寸是否达到预设值。 | ||
| 搜索关键词： | 开口 尺寸 测量方法 模版 拉伸 装置 以及 张网机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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