[发明专利]金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置在审
| 申请号： | 201910969518.9 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110587840A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 仇健;葛任鹏 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 11624 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了金刚石多线电火花放电切削线切割装置，包括切割装置主体，所述切割装置主体的中部一侧设置有一号切割辊，所述一号切割辊的一侧设置有二号切割辊，所述一号切割辊的前端设置有一号主动主轴，所述二号切割辊的前端设置有二号主动主轴，所述一号切割辊的后端外表面设置有一号从动主轴。本发明将固定磨料金刚石线锯与电火花线切割进行结合，进而产生金刚石线锯电火花复合加工，进一步提高金刚石多线切割光伏硅片的加工效率且降低加工成本，针对金刚线多线切割加工半导体硅片的加工表面微裂纹等加工质量问题，将在金刚线多线切割的基础上加入电火花放电加工实现加工表面的质量提升。 | ||
| 搜索关键词： | 切割辊 多线切割 切割装置主体 金刚石线锯 加工表面 前端设置 主动主轴 金刚石 金刚线 电火花放电加工 电火花复合加工 电火花线切割 加工质量问题 半导体硅片 电火花放电 线切割装置 从动主轴 固定磨料 光伏硅片 加工效率 质量提升 微裂纹 切削 多线 加工 | ||
【主权项】：
1.金刚石多线电火花放电切削线切割装置，包括切割装置主体(14)，其特征在于：所述切割装置主体(14)的中部一侧设置有一号切割辊(1)，所述一号切割辊(1)的一侧设置有二号切割辊(10)，所述一号切割辊(1)的前端设置有一号主动主轴(7)，所述二号切割辊(10)的前端设置有二号主动主轴(8)，所述一号切割辊(1)的后端外表面设置有一号从动主轴(4)，所述二号切割辊(10)的后端外表面设置有二号从动主轴(6)，所述切割装置主体(14)的上端中部外表面设置有P型硅棒(2)。/n
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