[发明专利]一种基于MEMS技术的微型加速度传感器在审
| 申请号： | 201910969695.7 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110596422A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 刘一锋 | 申请（专利权）人： | 苏州八度阳光智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 11582 北京久维律师事务所 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，包括传感器外壳和检测元件，检测元件固定安装在传感器外壳的内部，通过在传感器外壳设置的元件固定壳上开设有散热孔，有助于传感器外壳内部的检测元件散热，不至于温度过高而出现故障，且将元件固定壳和电性连接壳均采用绝缘不锈钢材质制成，并在传输端的外侧套装绝缘子，杜绝了短路现象的发生，同时保护了检测元件，使得对加速度的检测更精准；通过将第一固定电极、第二固定电极和第三固定电极采用单晶硅片制成，并采用MEMS技术制造，使得检测元件的体积更小，便于安装，同时在第二固定电极内部设置质量块和弹性固定外壳，且弹性固定外壳设置缓冲弹簧，使得检测效果更好，更加精准。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器外壳 固定电极 检测 元件固定 弹性固定 绝缘子 微型加速度传感器 不锈钢材质 便于安装 单晶硅片 电性连接 短路现象 缓冲弹簧 内部设置 温度过高 散热孔 质量块 散热 壳均 绝缘 传输 制造 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS技术的微型加速度传感器，包括传感器外壳（1）和检测元件（2），所述检测元件（2）固定安装在传感器外壳（1）的内部，其特征在于：所述传感器外壳（1）包括元件固定壳（11）和电性连接壳（12），元件固定壳（11）和电性连接壳（12）固定连接构成传感器外壳（1）整体；/n所述检测元件（2）包括第一固定电极（21）、第二固定电极（22）、质量块（23）、弹性固定外壳（24）和第三固定电极（25），第一固定电极（21）固定设置在第二固定电极（22）的上端，第二固定电极（22）为环状结构，质量块（23）和弹性固定外壳（24）固定安装在第二固定电极（22）的内部，第三固定电极（25）固定设置在第二固定电极（22）的下端。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州八度阳光智能科技有限公司，未经苏州八度阳光智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910969695.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
