[发明专利]表面分析装置有效
| 申请号： | 201910984278.X | 申请日： | 2019-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111060718B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 小林宽治;平出雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种表面分析装置。表面分析装置具备：载置试样的试样台；以及以与试样台相向的方式配置的悬臂及驱动悬臂的悬臂驱动部。驱动机构构成为：在取出试样台时，以使测定部与试样台在悬臂与试样台相向的第一方向上分离的方式使试样台相对于测定部相对地进行位移，之后使试样台在与第一方向交叉的方向上滑动。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 分析 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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