[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机有效
| 申请号： | 201910988844.4 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN110629172B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 黄海山 | 申请（专利权）人： | 深圳市瑞利泰德精密涂层有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 杨春 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机，镀膜箱底部与底座相连接，真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通，镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极，阴极底部连接有靶，输送装置顶部横穿镀膜箱，镀膜箱的两端分别安装有密封装置，密封装置与输送装置相配合，输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架，本发明的有益效果是：通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封，通过输送带能够使工件持续进行输送，比起取件加放件叠加的动作，能够减少停工的时间，提高那个工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容器 金属化 薄膜 加工 真空镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其结构包括底座（1）、真空机（2）、输送装置（3）、密封装置（4）、镀膜箱（5）、阴极（6）、靶（7）、阳极（8）、氩离子机（9），所述镀膜箱（5）底部与底座（1）相连接，所述真空机（2）、氩离子机（9）设在底座（1）上并分别与镀膜箱（5）底部相连通，所述镀膜箱（5）内部的上下两端分别设有阴极（6）、阳极（8），所述阴极（6）底部连接有靶（7），其特征在于：/n所述输送装置（3）顶部横穿镀膜箱（5），所述镀膜箱（5）的两端分别安装有密封装置（4），所述密封装置（4）与输送装置（3）相配合。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市瑞利泰德精密涂层有限公司，未经深圳市瑞利泰德精密涂层有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910988844.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
