[发明专利]掩膜版的制作方法、掩膜版和显示面板的制作方法有效
| 申请号： | 201910989459.1 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN110699637B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;甘帅燕;李伟丽;韩冰 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版的制作方法、掩膜版和显示面板的制作方法。该掩膜版的制作方法包括：提供第一基板，第一基板包括相对的第一表面和第二表面；刻蚀第一表面，形成多个第一凹槽；刻蚀第二表面，形成多个第二凹槽；其中，第二凹槽和第一凹槽一一对应，且第二凹槽的开口面积大于第一凹槽的开口面积；在第二表面，相邻第二凹槽之间的间距大于预设距离，其中，预设距离大于零；在第二凹槽的侧面靠近第二表面的边缘区域涂布保护层；刻蚀第二凹槽，形成第三凹槽；第三凹槽的深度大于第二凹槽的深度，且第三凹槽和第一凹槽贯穿第一基板；去除保护层。本发明实施例提高了掩膜版的强度及掩膜版的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 制作方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版的制作方法，其特征在于，包括：/n提供第一基板，所述第一基板包括相对的第一表面和第二表面；/n刻蚀所述第一表面，形成多个第一凹槽；/n刻蚀所述第二表面，形成多个第二凹槽；其中，所述第二凹槽和所述第一凹槽一一对应，且所述第二凹槽的开口面积大于所述第一凹槽的开口面积；在所述第二表面，相邻所述第二凹槽之间的间距大于预设距离，其中，所述预设距离大于零；/n在所述第二凹槽的侧面靠近所述第二表面的边缘区域涂布保护层；/n刻蚀所述第二凹槽，形成第三凹槽；所述第三凹槽的深度大于所述第二凹槽的深度，且所述第三凹槽和所述第一凹槽贯穿所述第一基板；/n去除所述保护层。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910989459.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
