[发明专利]微元件的转移装置以及转移方法有效
| 申请号： | 201911007996.8 | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112701195B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李晓伟;曹轩 | 申请（专利权）人： | 成都辰显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示面板技术领域，公开了一种微元件的转移装置以及转移方法。该转移装置包括承载基板和转移工作台。承载基板用于承载从生长基板剥离的微元件，承载基板上设有阵列排布的若干第一气孔。转移工作台设有第一气体控制器和第一气体通道，在承载基板置于转移工作台后，各第一气孔分别通过第一气体通道连通至第一气体控制器，第一气体控制器用于通过第一气体通道向第一气孔提供负压，以增大承载基板对微元件的附着力，或是通过第一气体通道向第一气孔提供正压，以减小承载基板对微元件的附着力。通过上述方式，本发明能够提高微元件的转移效率。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 转移 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
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