[发明专利]一种CVD金刚石高真空光学窗装置在审
| 申请号： | 201911014788.0 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN112782821A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 赵芬霞;蒋荣方;刘宏明;王骏 | 申请（专利权）人： | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;C30B29/04;C30B25/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 刘晓明 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种CVD金刚石高真空光学窗装置，包括底座、连接件、压紧件、压紧组件、透光组件、金刚石光窗和真空设备固定孔，所述连接件设于底座上，所述压紧件设于连接件远离底座的一端，所述压紧组件一端设于压紧件上，所述压紧组件另一端设于底座上，所述透光组件一端设于压紧件上，所述透光组件另一端设于底座上，所述金刚石光窗设于透光组件内，所述真空设备固定孔贯穿设于底座上，所述金刚石光窗为含有铅元素和磷元素的金刚石光窗，所述金刚石光窗通过CVD化学气相沉积法制得。本发明属于真空设备技术领域，具体是指一种莫氏硬度高，结构强度高，防电磁辐射，可观察等离子体辉光的高真空光学窗装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 金刚石 真空 光学 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖州中芯半导体科技有限公司，未经湖州中芯半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911014788.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
