[发明专利]一种多温区滑轨管式炉的控制方法有效
| 申请号： | 201911014840.2 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111306951B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘子优;肖蕴章;钟国仿;陈炳安;张灿 | 申请（专利权）人： | 深圳市纳设智能装备有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00 |
| 代理公司： | 深圳市特讯知识产权代理事务所(普通合伙) 44653 | 代理人： | 何明生 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多温区滑轨管式炉的控制方法，包括S10、针对每个温区，设定所述温区的目标温度值；S20、对所述温区内的至少三个测温点测温，获得实际温度值集合；S30、将所述实际温度值集合带入三次B样条曲线方程中，获得所述温区内的温度拟合曲线；S40、根据所述温区内的温度拟合曲线，获得所述温区内温度最接近所述目标温度值的目标位置；S50、将石英舟移动至第一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入第一种气源，进行化学反应；S60、当前反应步骤完成后，将石英舟移动至下一个反应温度对应的温区的所述目标位置，通入下一种气源，进行下一步的化学反应。本发明既能够为实验者提供最准确的温度参数，又提供了良好的实验重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多温区 滑轨 管式炉 控制 方法 | ||
【主权项】：
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