[发明专利]蚀刻液喷射速度获取系统及方法有效
| 申请号： | 201911015581.5 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110823936B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 梅园 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N1/28;C23F1/08 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻液喷射速度获取系统及方法，该方法通过提供烧杯测试装置，然后控制所述烧杯测试装置处于预设环境条件，并控制所述驱动构件运动，以使得所述蚀刻样品与所述蚀刻液按照预设速度相对运动，在此基础上检测所述蚀刻样品的蚀刻参数，构建环境条件、速度与蚀刻参数的对应关系，根据所述对应关系，确定目标蚀刻参数及目标环境条件对应的目标速度，并根据所述目标速度计算所述蚀刻液的喷射速度；该方法不需要在显示面板制造线上进行喷射速度的测试，解决了当前技术存在的需要在显示面板制造线上进行测试所导致的成本过高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 喷射 速度 获取 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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