[发明专利]单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质在审
| 申请号： | 201911018270.4 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110850819A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 潘春荣;卢艳君;乔岩;胡国林;王际鹏;熊文清 | 申请（专利权）人： | 江西理工大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 341000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明适用于半导体制造自动化设备技术领域，提供了一种单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质，该方法包括：分析多品种晶圆同时加工时单臂组合设备的可调度性，并根据可调度性提出死锁避免规则；根据死锁避免规则建立Petri网模型；获取本地加工策略，并将加工策略在Petri网模型中进行计算，以得到多品种晶圆同时加工时单臂组合设备的最优调度算法；根据所述最优调度算法控制单臂组合设备进行加工调度。本发明可以避免因多品种晶圆同时加工带来的系统死锁问题，降低晶圆质量和损害SACT设备，单臂组合设备调度方法中的调度算法计算复杂度为O(n |
||
| 搜索关键词： | 组合 设备 调度 方法 系统 移动 终端 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西理工大学，未经江西理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911018270.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
