[发明专利]Ga在审
| 申请号： | 201911018311.X | 申请日： | 2015-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110565173A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木公平 | 申请（专利权）人： | 株式会社田村制作所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/16;C30B23/02 |
| 代理公司： | 11323 北京市隆安律师事务所 | 代理人： | 徐谦;刘宁军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能实现高加工合格率的Ga | ||
| 搜索关键词： | 单晶基板 金刚石磨粒 研磨处理 旋转轴 正时 合格率 加工 | ||
【主权项】：
1.一种Ga
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