[发明专利]极紫外线反射结构、极紫外线聚光器及极紫外线光罩在审
| 申请号： | 201911021395.2 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN111123419A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 邱俊傑;蒯光国;郑文豪 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露的一实施例提供一种极紫外线反射结构。极紫外线反射结构包括一基板以及多对硅层体与钼层体。多对硅层体与钼层体设置于该基板之上，其中该硅层体包括多个孔洞。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外线 反射 结构 聚光器 | ||
【主权项】：
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