[发明专利]一种高效碳化硅晶片制备方法在审
| 申请号： | 201911022348.X | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN110725007A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 陈炳寺;戴磊 | 申请（专利权）人： | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00;C30B33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高效碳化硅晶片制备方法，所述制备方法包括原料混合，将碳和二氧化硅作为原料按照一定的比例配料，然后加入合适比例的催化剂进行混合，充分搅拌均匀，高温加热，将步骤（1）中混合均匀的混合料进行高温加热，操作结束后制备粗碳化硅晶片，过滤除杂，将步骤（2）中原料进行过滤除杂，得到碳化硅晶片，备用，研磨，将步骤（3）中的碳化硅晶片进行研磨，备用，抛光提高质量，将步骤（4）中碳化硅晶片进行抛光，得到高质量碳化硅晶片。该种高效碳化硅晶片制备方法，制备方法较为简单，成本较低，提高碳化硅晶片的生产量，提高碳化硅晶片的生产效率，便于将制备的碳化硅晶片进行批量研磨，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅晶片 制备 研磨 高温加热 过滤除杂 抛光 备用 比例配料 操作结束 粗碳化硅 二氧化硅 生产效率 原料混合 混合料 催化剂 晶片 | ||
【主权项】：
1.一种高效碳化硅晶片制备方法，其特征在于：所述制备方法包括如下步骤：/n（1）原料混合，将碳和二氧化硅作为原料按照一定的比例配料，然后加入合适比例的催化剂进行混合，充分搅拌均匀；/n（2）高温加热，将步骤（1）中混合均匀的混合料进行高温加热，操作结束后制备粗碳化硅晶片；/n（3）过滤除杂，将步骤（2）中原料进行过滤除杂，得到碳化硅晶片，备用；/n（4）研磨，将步骤（3）中的碳化硅晶片进行研磨，备用；/n（5）抛光提高质量，将步骤（4）中碳化硅晶片进行抛光，得到高质量碳化硅晶片。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏晶杰光电科技有限公司，未经江苏晶杰光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911022348.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
