[发明专利]一种静电消除装置和方法以及电子扫描显微镜在审
| 申请号： | 201911024505.0 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN110740556A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 汪金凤 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/02 | 分类号： | H05F3/02;H01J37/28 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电消除装置，通过接地部件、第一静电传输部件以及第二静电传输部件之间的配合来对晶圆表面的静电电荷残留进行释放，避免由于静电无法释放完全导致影响后续制程的情况产生。其中所述第一静电传输部件设置在所述接地部件上，所述第二静电传输部件设置在所述晶圆表面。本发明提供的装置的硬件成本与现有技术比较相对较低，且操作方法简单。本发明还提出一种电子扫描显微镜，可在电子扫描显微镜上安装可移动的导电pin针，在电子扫描显微镜量测结束后，通过导电pin针接触晶圆的方式将晶圆上残留的静电电荷导出。且不改变晶圆原有的制程，也无需另设机台。本发明还提出一种静电消除方法，利用所述装置。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 传输部件 电子扫描显微镜 晶圆 接地部件 晶圆表面 静电电荷 导电 制程 残留 静电消除装置 机台 静电消除 硬件成本 释放 可移动 原有的 导出 量测 配合 | ||
【主权项】：
1.一种静电消除装置，用于消除晶圆表面的静电电荷，其特征在于，包括接地部件、第一静电传输部件以及第二静电传输部件；/n所述第一静电传输部件设置在所述接地部件上，所述第二静电传输部件设置在所述晶圆表面；/n当所述第一静电传输部件与所述第二静电传输部件接触时，所述晶圆表面的静电电荷依次通过所述第二静电传输部件、所述第一静电传输部件、所述接地部件，所述接地部件接地以将所述晶圆表面的静电电荷导出。/n
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