[发明专利]探针防误触方法、装置及系统有效
| 申请号： | 201911024547.4 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN110736715B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 薛占强;郭翠;潘奕 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;深圳市重投华讯太赫兹科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581;G01N21/01;G01B11/14 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 刘永康 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请属于扫描成像技术领域，提供了一种探针防误触方法、装置及系统，所述方法包括：将测距仪的测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第一测试距离处；控制样品架水平移动并通过测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距；若每一检测点对应的间距与第一测试距离的第一误差值均小于预设阈值，则将测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第二测试距离处；根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距；若确定所述样品平整，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描。本申请实施例解决不能实时监测样品到探针的距离的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 防误触 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种探针防误触方法，其特征在于，包括：/n将测距仪的测距光斑和样品架调节至探针的针尖正下方第一测试距离处；/n控制所述样品架水平移动并通过所述测距仪随机对N个不在同一直线的检测点进行测距，得到每一所述检测点与所述探针针尖的间距；N≥3；/n若每一所述检测点对应的间距与所述第一测试距离的第一误差值均小于预设阈值，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方第二测试距离处；/n根据预设扫描成像范围控制放置有样品的所述样品架移动，通过所述测距仪对若干预设的扫描点进行测距，得到每一所述扫描点与所述探针针尖的间距；/n若根据所述若干扫描点对应的间距确定所述样品平整，则将所述测距光斑和所述样品架调节至所述探针的针尖正下方扫描距离处，以进行成像扫描。/n
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