[发明专利]互连结构在审

专利信息
申请号: 201911025768.3 申请日: 2019-10-25
公开(公告)号: CN112397480A 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 康庭慈;丘世仰 申请(专利权)人: 南亚科技股份有限公司
主分类号: H01L23/528 分类号: H01L23/528
代理公司: 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 代理人: 席勇;董云海
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种互连结构,包括第一和第二绝缘层、第一和第二导线、以及第一、第二和第三导电通孔。第二绝缘层设置在第一绝缘层上。包括第一和第二部分的第一导线,以及第一、第二和第三导电通孔嵌入第一绝缘层中。包括第三部分和第四部分的第二导线嵌入第二绝缘层中。第一导电通孔连接第一和第三部分。第二导电通孔连接第二和第三部分。第三导电通孔连接第二和第四部分。由第一、第二、第三部分、第一、第二导电通孔围绕的第一横截面面积实质上等于由第二、第三、第四部分、第二、第三导电通孔围绕的第二横截面面积。此互连结构可以防止来自其他电路元件的杂讯干扰。
搜索关键词: 互连 结构
【主权项】:
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