[发明专利]显示面板的制备方法及显示面板有效

专利信息
申请号: 201911028011.X 申请日: 2019-10-28
公开(公告)号: CN110854133B 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 谢华飞 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 黄灵飞
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种显示面板的制备方法及显示面板,在显示面板正面制程完成时,引入了保护层、牺牲层、平坦化层以及钝化层的结构作为保护膜,该保护膜膜层结构设计不会对CVD、PVD等真空设备造成污染,以及具有硬性耐磨特性,该膜层不会残留在传输机台上,因此不会干扰到背面制程。同时常规CVD和涂布机台成膜时,膜层表面平坦度有利于传送吸附,可通过激光及干刻完整的去除保护膜,该工艺方法可有效实现单玻璃的双面制程。
搜索关键词: 显示 面板 制备 方法
【主权项】:
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