[发明专利]防尘结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201911034115.1 | 申请日： | 2019-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN110726427A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔微电子研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/24 | 分类号： | G01D11/24 |
| 代理公司： | 44287 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 266104 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种防尘结构及其制作方法、防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：提供基板，在基板的一表面设置离型膜；在离型膜的表面沉积形成金属层；通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。本发明技术方案旨在使防尘结构具有较好的防尘功能，并且能使被防尘的传感器与外部环境连通，保证传感器检测灵敏度和测量的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 防尘结构 防尘部 金属层 离型膜 连通孔 传感器 外部环境 防尘 防尘网 基板 壳体 传感器检测 准确度 表面沉积 表面设置 防尘功能 感测单元 光刻工艺 灵敏度 盖合 制作 连通 测量 体内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种防尘结构的制作方法，防尘结构用于传感器的防尘，所述传感器包括壳体和设置于壳体内的感测单元，所述壳体设有连通孔，所述连通孔连通感测单元和外部环境，所述防尘结构的防尘部盖合于所述连通孔，其特征在于，所述防尘结构的制作方法包括以下步骤：/n提供基板，在基板的一表面设置离型膜；/n在离型膜的表面沉积形成金属层；/n通过光刻工艺在金属层形成多个防尘网孔，其中，多个防尘网孔共同形成防尘部；/n将形成防尘部的金属层与离型膜相互分离。/n
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