[发明专利]一种后掺杂式N型接触钝化电池有效
申请号: | 201911036683.5 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110838528B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 王伟;马志杰;张一波;顾文操;盛健;张淳 | 申请(专利权)人: | 协鑫集成科技股份有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司;张家港协鑫集成科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/068 | 分类号: | H01L31/068;H01L31/0288;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 姚惠菱 |
地址: | 201400 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种后掺杂式N型接触钝化电池,包括N型硅片、正面结构以及背面结构,背面结构包括隧穿层、n+多晶硅层、背面钝化层以及背面金属电极,隧穿层、n+多晶硅层以及背面钝化层沿渐远N型硅片的方向依次设置,N型接触钝化电池还包括本征多晶硅层和n++重掺杂区域,本征多晶硅层设于n+多晶硅层与背面钝化层之间,n++重掺杂区域贯穿本征多晶硅层,n++重掺杂区域的内端与n+多晶硅层接触,背面金属电极贯穿背面钝化层,背面金属电极的内端与n++重掺杂区域的外端接触。本发明既可以减少背面的自由载流子吸收,提升双面电池的双面率,又消除金属化区域的金属复合,进一步提升N型接触钝化电池转化效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 掺杂 接触 钝化 电池 | ||
【主权项】:
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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