[发明专利]聚合物的制造方法、及聚合物在审
| 申请号： | 201911040009.4 | 申请日： | 2019-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111138586A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 阿达铁平;提箸正义;小野绘实子;小野塚英之 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/30;C08F220/38;C08F212/14;C08F222/24;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题是提供残存单体量少，使用于抗蚀剂组合物时，尤其会展现良好的LWR的聚合物的制造方法。一种聚合物的制造方法，是制造含有来自包含因曝光而分解并产生酸的结构的单体(A)的重复单元、来自具有酸不稳定基团的单体(B)的重复单元、及来自具有酚性羟基的单体(C)的重复单元，且聚合物中所含的单体(A)的残存量为1.0质量％以下的聚合物的制造方法，包含将含有单体(A)、单体(B)、及单体(C)的单体溶液供给到反应釜中的步骤、及在该反应釜内实施聚合反应的步骤，该反应釜内的单体溶液中的单体浓度为35质量％以上，且该单体溶液的溶剂(S)包含选自下式(S‑1)及下式(S‑2)所示的溶剂中的至少1种。 |
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| 搜索关键词： | 聚合物 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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