[发明专利]一种基于PLC的单晶炉水冷系统在审

专利信息
申请号: 201911045221.X 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN112746311A 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 康志亮;张镭铎;姜继东;谢佳男;牟琴;陈文溆乐;钱美雯 申请(专利权)人: 四川农业大学
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 611130 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种基于PLC的单晶炉水冷系统,系统包括变频恒压供水系统、风机冷却水塔系统以及炉体冷却系统,主要应用于单晶炉的炉体及硅棒冷却。变频恒压供水系统,包括S7‑300 PLC、压力传感器、MM430变频器以及水泵机组,实现了根据压力反馈值适时调节流量,自动化恒压供水;风机冷却水塔系统,包括水冷塔、风机组以及板热交换装置,能够结合环境温度,通过PLC调节风机组开启数量,增大水流表面空气流水以降低温度,相比于常用的冰机冷却成本更低;炉体冷却系统,分为主炉体冷却系统(上、下)与水冷套,前者用­­于冷却高温工作时的单晶炉体,后者用于改善炉内热场结构,提高单晶炉拉速以增加产量。系统具有实用性强、工作稳定可靠、运作成本低的优点。
搜索关键词: 一种 基于 plc 单晶炉 水冷 系统
【主权项】:
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