[发明专利]用于静态存储器功能检测的晶圆允收测试模块和方法有效
申请号: | 201911052361.X | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN110853696B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 赖振安;陈俊晟;黄召颖 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G11C29/56 | 分类号: | G11C29/56 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 郭四华 |
地址: | 201315 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于静态存储器功能检测的晶圆允收测试模块,包括形成于晶圆上的精简指令内建自我测试电路,用于对静态存储器进行功能检测。精简指令内建自我测试电路包括:环形振荡器,分频器,计数器,数据锁存器和比较器。环形振荡器和分频器用于形成内部时钟信号。计数器用于计数,计数同时作为地址解码器和数据输入端口的输入信号;计数器的最高有效位作为读写控制信号。数据锁存器和比较器连接地址解码器的输出端和灵敏放大器的输出端并对两个输出信号进行比较从而得到测试结果。本发明还公开了一种用于静态存储器功能检测的晶圆允收测试方法。本发明不需依赖存储器的专用测试机台进行静态存储器功能检测,能简化测试程序。 | ||
搜索关键词: | 用于 静态 存储器 功能 检测 晶圆允收 测试 模块 方法 | ||
【主权项】:
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