[发明专利]芯片封装的方法、芯片和芯片封装组件在审
申请号: | 201911053463.3 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN110767619A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 赵源;周涛;郭函;曹流圣 | 申请(专利权)人: | 北京比特大陆科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L23/00 |
代理公司: | 11329 北京龙双利达知识产权代理有限公司 | 代理人: | 田玉珺;毛威 |
地址: | 100192 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请提供一种芯片封装的方法,在利用金属层实现对芯片散热的同时,可以防止该金属层发生翘曲。该方法包括:在基板上制作开孔;将所述芯片嵌埋至所述开孔内;在所述基板的第一表面上,制作用于对所述芯片进行散热的第一金属层和第二金属层,其中,所述第一金属层和所述第二金属层之间设置有间隔层,所述间隔层中设置有至少一个通孔,所述第二金属层覆盖所述间隔层且填充所述至少一个通孔;在所述基板的第二表面上,制作至少一个布线层。 | ||
搜索关键词: | 第二金属层 间隔层 基板 第一金属层 金属层 开孔 通孔 制作 芯片 第二表面 第一表面 芯片封装 芯片散热 布线层 散热 嵌埋 翘曲 填充 覆盖 申请 | ||
【主权项】:
1.一种芯片封装的方法,其特征在于,所述方法包括:/n在基板上制作开孔;/n将所述芯片嵌埋至所述开孔内;/n在所述基板的第一表面上,制作用于对所述芯片进行散热的第一金属层和第二金属层,其中,所述第一金属层和所述第二金属层之间设置有间隔层,所述间隔层中设置有至少一个通孔,所述第二金属层覆盖所述间隔层且填充所述至少一个通孔;/n在所述基板的第二表面上,制作至少一个布线层。/n
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