[发明专利]基底支撑装置和使用该基底支撑装置抛光基底的方法在审
| 申请号： | 201911058079.2 | 申请日： | 2019-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111136575A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 秋秉权;姜胜培;裵俊和;姜奉求;朴廷敏;梁熙星;曹雨辰 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 田野;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种基底支撑装置和使用其抛光基底的方法。所述基底支撑装置可以包括设置在框架中的多孔吸盘、设置在多孔吸盘上的吸附垫以及设置在多孔吸盘与吸附垫之间的粘合剂层。吸附垫可以包括弹性层和与弹性层结合的多孔层。粘合剂层、弹性层和多孔层中的每个可以包括分别在厚度方向上延伸的贯穿部分。基于Asker C硬度标度，吸附垫可以具有100或更小的硬度值。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 支撑 装置 使用 抛光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911058079.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
