[发明专利]一种溅镀托盘及溅镀治具有效
| 申请号： | 201911064861.5 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110724925B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 周振国;程金桥;胡正华;方宁;王厦 | 申请（专利权）人： | 环旭电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 董磊 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种溅镀托盘及溅镀治具，溅镀托盘位于溅镀腔室内的靶材正下方，其上摆放装有待溅镀产品的治具，包括：托盘本体；以及，若干支撑结构，设置在所述托盘本体上，所述支撑结构具有用于使其上摆放的所述治具朝向托盘本体的中轴线倾斜的支撑面，所述支撑面远离所述中轴线一边的高度高于靠近所述中轴线一边的高度，以增加被击落的靶材原子与治具上靠近托盘本体边缘处产品侧面的接触几率，以保证溅镀产品的膜厚均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 托盘 溅镀治具 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀托盘，位于溅镀腔室内的靶材正下方，其上摆放装有待溅镀产品的治具，其特征在于，包括：/n托盘本体；以及，/n若干支撑结构，设置在所述托盘本体上，所述支撑结构具有用于使其上摆放的所述治具朝向托盘本体的中轴线倾斜的支撑面，所述支撑面远离所述中轴线一边的高度高于靠近所述中轴线一边的高度。/n
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