[发明专利]掩模组件及制造掩模组件的方法在审
申请号: | 201911065438.7 | 申请日: | 2019-11-04 |
公开(公告)号: | CN111155053A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 金仁培;文敏浩;朴永浩;任星淳 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/22;H01L51/56 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张逍遥;刘灿强 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了一种掩模组件和一种制造掩模组件的方法。所述掩模组件包括:掩模片,包括具有至少一个开口部分的图案部分和连接到图案部分的焊接部分;以及掩模框架,掩模片安装在掩模框架上,掩模框架焊接到焊接部分。掩模片包括被构造为面对掩模框架的第一表面和与第一表面相对的第二表面。焊接部分包括影线区域,第二表面在影线区域中的表面粗糙度大于第二表面在图案部分中的表面粗糙度。 | ||
搜索关键词: | 模组 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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