[发明专利]一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置在审
| 申请号： | 201911067925.7 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110798958A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 詹铁锤;程光周;徐佳圆;倪红德 | 申请（专利权）人： | 合肥杰硕真空科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 41166 郑州欧凯专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 郭辽原 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极，所述放电室的主体为圆柱形管状结构，且在绝缘套的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极，所述放电室的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极；通过将法兰盘电极作为放电的一极，环形电极作为另一极电极，使两个电极在放电室内形成三维放电，进而使整个放电室内的放电更为均衡；通过将两个法兰盘设为同一电极，将两个环形电极设为另一极电极，成倍的增加了整个电极的表面积，进而使放电室内的有效放电空间面积成倍增加，提高了整个放电室的空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 放电 放电室 环形电极 法兰盘 室内 上套 套接 圆柱形管状结构 电极等离子体 空间利用率 圆盘状结构 放电空间 环形套状 体内环形 绝缘套 外圆 圆腔 三维 室外 均衡 | ||
【主权项】：
1.一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室（1）、放电室（1）两端套接的法兰盘电极（2）与放电室（1）外圆上套配的环形电极（3），其特征在于：所述放电室（1）的主体为圆柱形管状结构，且在放电室（1）的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极（3），所述放电室（1）的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极（2），所述法兰盘电极（2）的内侧设有与放电室（1）的两端相套配的环形结构的内固定槽口（201），且在法兰盘电极（2）的外侧设有环形结构的外固定槽口（202）；/n所述两个法兰盘电极（2）分别与同一极电极电性相连，且两个环形电极（3）均与另一极电极电性相连。/n
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