[发明专利]一种同步驱动PCVD沉积炉装置在审
| 申请号： | 201911074297.5 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110963697A | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 俞佳宾;李凡;眭立洪 | 申请（专利权）人： | 江苏永鼎光纤科技有限公司;江苏永鼎股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙) 32299 | 代理人： | 马刚强 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种同步驱动PCVD沉积炉装置，包括炉子、升降组件、开合组件和框架，所述升降组件设置在所述框架上，所述升降组件连接并驱动所述开合组件上下移动，所述开合组件包括第一安装板、固定在所述第一安装板上的第一电机和第一丝杠，所述开合组件还包括直角减速机和与所述直角减速机连接的传动轴，所述第一丝杠连接在所述传动轴上，所述第一电机输出端连接并驱动所述直角减速机进而带动所述传动轴转动，所述第一丝杠的第一丝杠轴在所述传动轴带动下向上或向下运动。本发明结构设计简单，加工和装配难度低，用机械同步代替电气同步，提高了传动的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同步 驱动 pcvd 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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