[发明专利]蒸镀坩埚、蒸镀系统及蒸镀OLED的方法有效
| 申请号： | 201911078519.0 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110724911B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 谭伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀坩埚、蒸镀系统及蒸镀OLED的方法，蒸镀坩埚采用外坩埚套内坩埚的方式，避免内坩埚开裂漏液损坏蒸发源，从而减小了蒸镀的成本。所述喂料口具有一缓冲槽。缓冲槽用以放置金属固体辅材料，且所述加热装置可以加热所述喂料口使所述金属固体辅材料变为金属液体辅材料，这样可以避免在辅材喂料时造成坩埚壁卡线的问题。并且蒸镀可以一边蒸镀主材同时放入辅材，这大大的提高了蒸镀的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 系统 oled 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括，/n外坩埚，具有一第一通孔；/n内坩埚，内嵌于所述外坩埚中，具有一第二通孔；/n喂料口，设于所述内坩埚与所述外坩埚之间，且连通所述第一通孔以及所述第二通孔。/n
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