[发明专利]一种测试正性光刻胶UV比的方法在审
| 申请号： | 201911086204.0 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN112378872A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 马阳阳;张月;张东宏 | 申请（专利权）人： | 陕西彩虹新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33;G01N1/38 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 712021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试正性光刻胶UV比的方法，特征在于，将正性光刻胶加入溶剂中，制得待测样品，根据空白基底得到稀释后的正性光刻胶UV曲线，计算UV比值，得到正性光刻胶中树脂与感光剂的含量比。包括以下步骤：S1)、用溶剂作为空白基底，校正仪器；S2)、用微量注射器缓缓抽取正性光刻胶样品；S3)、将样品注入用溶剂清洗过的容量瓶中，定容，振荡均匀；S4)、试料清洗比色皿以后，倒入试料至比色皿刻度线，并擦拭比色皿表面；S5)、将比色皿装入样品架，开始测定UV吸光度；S6)、读取数据，计算UV比。整个过程耗时短，试剂浪费少，稀释精准，重复性好。实现了人工高效稀释正性光刻胶样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 光刻 uv 方法 | ||
【主权项】：
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