[发明专利]一种飞秒激光微加工方法及装置

摘要

本发明公开了一种飞秒激光微加工方法及装置，属于激光加工装置技术领域。一种飞秒激光微加工装置，包括壳体，壳体内壁上开凿有第一滑槽，第一滑槽内部连接有横梁，横梁外壁上滑动连接有连接柱，连接柱外壁上滑动连接有激光发射组件，壳体内壁上还连接有工作台，工作台上分别开凿有第一T型槽和第二T型槽，工作台内部设置有空腔，空腔内部设置有定位夹紧机构，定位夹紧机构顶壁上分别连接有第一卡爪和第二卡爪，且第一卡爪和第二卡爪分别与第一T型槽和第二T型槽相匹配；本发明能够有效的对待加工工件进行定位夹紧，从而有效的保证工件加工的一致性和可重复性，进而提高实验数据的精准性。