[发明专利]一种转动拉升式晶圆干燥机有效
| 申请号： | 201911092079.4 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN110864536B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 杨运军 | 申请（专利权）人： | 兰泽（荆门）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/18 | 分类号： | F26B15/18;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/18;B08B3/04;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 448000 湖北省荆门市东宝区月*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及干燥机技术领域，具体涉及一种转动拉升式晶圆干燥机，包括底座、立板、链轮组件、驱动件以及链条；所述固定机构包括转动臂、转盘以及固定座；所述固定座与链条固定连接；所述立板在链条的顶部设有止转板；所述立板在链条的底部设有旋转导板；所述底座设有水槽；所述水槽内设有喷气机构。本发明通过改变喷口构形，可以方便地对气流参数进行调节，保证干燥效果；通过转盘带动挂具机构在清洗过程中旋转，可以利用挂具机构对水流的搅动作用，提高清洗效果；在晶圆片提拉过程中，伴随挂具机构转动使得挂具机构的周向位置均可被气流覆盖，避免了干燥死角和积水点，提高干燥效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转动 拉升式晶圆 干燥机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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