[发明专利]一种旋转靶材的垂直绑定结构以及绑定方法在审
| 申请号： | 201911092257.3 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN110684955A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 高明;张花蕊;张虎;陈浩杰 | 申请（专利权）人： | 北京航大微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100089 北京市海淀区学*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种旋转靶材的垂直绑定结构以及绑定方法，该种旋转靶材包括衬管(2)、和套设在所述衬管(2)外的多个靶管(1)，所述衬管(2)的外周面和所述靶管(1)的内周面之间通过连接层(7)固定，其特征在于：所述连接层(7)为胶体层，所述连接层(7)内匹配设置有辅助连接部件。该种能垂直绑定结构能灵活用于不同长度的靶管(1)和异形靶、连接强度更好、成本低廉、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 连接层 靶管 绑定 衬管 旋转靶材 垂直 辅助连接部件 匹配设置 胶体层 内周面 外周面 异形 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种旋转靶材的垂直绑定结构，包括衬管(2)、和套设在所述衬管(2)外的多个靶管(1)，所述衬管(2)的外周面和所述靶管(1)的内周面之间通过连接层(7)固定，其特征在于：所述连接层(7)为胶体层，所述连接层(7)内匹配设置有辅助连接部件。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京航大微纳科技有限公司，未经北京航大微纳科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911092257.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：金属制品及其制备方法和手机后壳
- 下一篇：柔性物品镀膜治具及其罩体
- 同类专利
- 专利分类
