[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 201911094854.X | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112779507A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 盐田有广;青山贵昭;远藤光人;长江亦周 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 周达;张印铎 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供一种成膜装置，包括：真空容器；绕垂直轴线转动的基板保持单元，其能保持多个基板；位于所述真空容器内部的成膜区域，所述成膜区域能够通过溅射从靶材释放出溅射离子到达所述基板；可拆卸地安装于所述真空容器内的隔离单元，其将所述成膜区域与所述真空容器内的其他区域隔开。本申请提供的成膜装置能够改善成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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