[发明专利]一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法及处理装置在审
| 申请号： | 201911100696.4 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN110642255A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李斌;罗周;向春林;宋垒 | 申请（专利权）人： | 四川永祥新能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵焕 |
| 地址： | 614800 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，所述处理方法包括如下步骤：T1：向反应罐中通入六氯二硅烷和氯化氢；T2：向反应罐中通入氮氮二甲基苯胺；T3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以及氢气。在氮氮二甲基苯胺的催化作用下，六氯二硅烷和氯化氢能够进行快速地反应，从而实现三氯氢硅和四氯化硅的高效回收，从而进一步节约了能源，减少了排放量。本发明还公开了一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 六氯二硅烷 二甲基苯胺 氯化氢 氮氮 多晶硅生产 催化作用 三氯氢硅 四氯化硅 处理装置 高效回收 氢气 排放量 节约 能源 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法，其特征在于，所述处理方法包括如下步骤：/nT1：向反应罐(1)中通入六氯二硅烷和氯化氢；/nT2：向反应罐(1)中通入氮氮二甲基苯胺；/nT3：六氯二硅烷和氯化氢在氮氮二甲基苯胺的催化作用下发生反应，反应生成三氯氢硅、四氯化硅以及氢气。/n
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