[发明专利]一种多弧离子镀膜过程中减少大液滴的方法在审
| 申请号： | 201911126498.5 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112813389A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 刘辉婵;刘召飞 | 申请（专利权）人： | 河北召飞科技服务有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 050000 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多弧离子镀膜过程中减少大液滴的方法，涉及多弧离子镀技术领域，包括超声波清洗，其特征在于：所述把被镀工件放入超声波清洗池中超洗去油去污渍，所述工件放入烘干机中烘干去除水分，所述工件放入多弧离子镀膜机中离子清洗，所述工件放入检测中心，所述工件由油污检测模块和湿度检测模块进行检测。该多弧离子镀膜过程中减少大液滴的方法，能够通过将被镀工件放入超声波清洗池中超洗去油去污渍，再将工件工件放入烘干机中烘干去除水分，最后将工件放入多弧离子镀膜机中离子清洗，镀层时需要充入的氮气为800SCCM，充入的氩气为300SCCM，且开20秒关60秒，所述偏压为150V，偏压占空比40％，偏流40A‑60A，使用四组150A弧组。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 镀膜 过程 减少 大液滴 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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