[发明专利]一种离子束入射角度确定方法及装置有效
| 申请号： | 201911126971.X | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN111445489B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 景晓军;黄海;杨威;刁克明;张芳沛;王元 | 申请（专利权）人： | 北京邮电大学 |
| 主分类号： | G06T7/13 | 分类号： | G06T7/13;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 马敬;赵元 |
| 地址： | 100876 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种离子束入射角度确定方法及装置，方法包括：获取放置在工作台上的待镀膜工件的深度图像及彩色图像；对所述彩色图像进行边缘检测，确定所述彩色图像中的边缘像素点；确定所述边缘像素点在所述深度图像中对应的像素值；根据所述边缘像素点对应的像素值及所述待镀膜工件的尺寸，确定所述离子束入射角度。应用本发明实施例，可以确定离子束入射角度，无需工作人员手动设置，可以提高离子束镀膜的精准度及均匀度，避免靶材浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 入射 角度 确定 方法 装置 | ||
【主权项】：
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