[发明专利]一种薄膜真空计在审
| 申请号： | 201911136987.9 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110702301A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张心强;靳毅;齐英;蔺宇;陈林 | 申请（专利权）人： | 川北真空科技(北京)有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L19/00 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 102200 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本发明的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气剂 参考压力 电热元件 腔内 薄膜真空计 悬置 内置电热元件 部件接触 导线连接 加热过程 加热效率 检测设备 温度过高 支撑作用 内置 加热 激活 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜真空计，其特征在于，包括：/n外壳(1)，内部具有参考压力腔(2)；/n导线(4)，一端伸至于所述外壳(1)的参考压力腔(2)内，另一端伸出所述外壳(1)；/n吸气剂(5)，悬置在所述参考压力腔(2)内；所述吸气剂(5)内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线(4)连接。/n
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