[发明专利]去蜡溶液取片设备及方法在审
| 申请号： | 201911147869.8 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110744532A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 陈良 | 申请（专利权）人： | 江苏索尔思通信科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02;B25J9/10;B25J15/00;B08B7/00;H01S5/02 |
| 代理公司： | 32397 南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 罗柱平 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种去蜡溶液取片设备，包括支撑架，其底部托有烤盘，所述烤盘上设定位柱，内置定位桩的蜡液槽可卡装在所述定位柱上，待晶圆去蜡的研磨盘设在蜡液槽的定位桩上，所述支撑架顶部设有旋转手臂，旋转手壁转动连接机箱，机箱内设有伺服升降模组驱动装置以及控制装置，料盒可拆卸的安装在伺服升降模组伸出机箱部分的下部。另外本发明还公开了利用该设备去蜡取片的方法。本发明在一台设备上完成晶圆的去蜡和取片工作，节约了投资成本；不需要用镊子夹取晶圆的动作，同时在溶液中的升降依赖伺服电机匀速运行，可以避免因镊子接触以及操作手法的不稳定带来的晶圆破裂和划伤风险。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 取片 伺服 升降模组 定位桩 机箱 烤盘 蜡液 支撑架顶部 镊子 可拆卸的 控制装置 驱动装置 去蜡溶液 伺服电机 旋转手臂 转动连接 定位柱 镊子夹 旋转手 研磨盘 支撑架 划伤 卡装 料盒 内置 位柱 升降 破裂 伸出 节约 投资 | ||
【主权项】：
1.去蜡溶液取片设备，包括支撑架，其底部托有烤盘，其特征在于，所述烤盘上设定位柱，内置定位桩的蜡液槽可卡装在所述定位柱上，待晶圆去蜡的研磨盘设在蜡液槽的定位桩上，所述支撑架顶部设有旋转手臂，旋转手壁转动连接机箱，机箱内设有伺服升降模组驱动装置以及控制装置，料盒可拆卸的安装在伺服升降模组伸出机箱部分的下部。/n
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