[发明专利]聚硅氧烷骨架聚合物、感光性树脂组合物、图案形成方法和光半导体器件的制造有效
| 申请号： | 201911153444.8 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111205463B | 公开（公告）日： | 2023-02-14 |
| 发明（设计）人： | 丸山仁;曾我恭子 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08G77/26 | 分类号： | C08G77/26;C08G77/14;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供聚硅氧烷骨架聚合物、感光性树脂组合物、图案形成方法和光半导体器件的制造。提供了聚合物，其在主链中包含聚硅氧烷、硅亚苯基、异氰脲酸和降冰片烯骨架并在侧链中具有环氧基团。涂覆包含该聚合物和光致产酸剂的感光性树脂组合物以形成膜，可使用具有大幅变化波长的辐照使膜图案化。图案化的膜具有高透明性、耐光性和耐热性。 | ||
| 搜索关键词： | 聚硅氧烷 骨架 聚合物 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 半导体器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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