[发明专利]掩膜板张网力的仿真预测方法及系统、掩膜板张网设备在审

专利信息
申请号: 201911155139.2 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN111079261A 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 毕娜;刘月 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06F119/14
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 姜春咸;冯建基
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种掩膜板张网力的仿真预测方法及系统、掩膜板张网设备。该掩膜板张网力的仿真预测方法包括:根据公式计算掩膜板的模拟板厚;其中,LP为掩膜板上像素孔的长度;WP为像素孔的宽度;WF为掩膜板沿非拉伸方向的宽度;Thickness为模拟板厚;LAA为掩膜板上有效像素孔区在掩膜板所在平面内沿拉伸方向的长度;α为应变因子,α随有效像素孔区拉伸方向的平均应变设计要求和掩膜板的宽度变化而变化;将模拟板厚输入仿真算法并赋为仿真算法中的掩膜板的厚度值;仿真算法基于模拟板厚仿真预测掩膜板的张网力。该方法能提高张网力计算准确性,还能减小仿真算法的计算量,节约掩膜板设计和测试成本,缩短掩膜板开发周期。
搜索关键词: 掩膜板张网力 仿真 预测 方法 系统 掩膜板张网 设备
【主权项】:
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